一 、引言
壓力變送器是直接與被測介質(zhì)相接觸的現(xiàn)場儀表，常常在高溫 低溫 腐蝕 振動 沖擊等環(huán)境中工作。在石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業(yè)的壓力測量及現(xiàn)場控制中應(yīng)用十分廣泛。
壓力變送器的發(fā)展大體經(jīng)歷了四個階段：
（1） 早期壓力變送器采用大位移式工作原理，如曾大量生產(chǎn)的水銀浮子式差壓計及膜盒式差壓變送器，這些變送器精度低且笨重。
（2） 20世紀(jì)50年代有了精度稍高的力平衡式差壓變送器，但反饋力小，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，可靠性、穩(wěn)定性和抗振性均較差。
（3） 70年代中期，隨著新工藝、新材料、新技術(shù)的出現(xiàn)，尤其是電子技術(shù)的迅猛發(fā)展出現(xiàn)體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單的位移式變送器。
（4） 90年代科學(xué)技術(shù)迅猛發(fā)展，這些變送器測量精度高而且逐漸向智能化發(fā)展數(shù)字信號傳輸更有利于數(shù)據(jù)采集
壓力變送器發(fā)展至今已有電容式變送器、擴(kuò)散硅壓阻式變送器、差動電感式變送器和陶瓷電容式變送器等不同類型。
二、幾種壓力變送器
1.擴(kuò)散硅壓力變送器
20世紀(jì)90年代中期，美國Icsensors公司、Nova公司應(yīng)用硅精蝕和硅晶片疊合兩項(xiàng)尖端科技生產(chǎn)了新型擴(kuò)散硅壓力傳感器并開發(fā)出具有精度高, 重復(fù)性小, 抗腐蝕的擴(kuò)散硅壓力變送器。1993年長沙礦山研究院開發(fā)了具有極高性價比的SBP800型擴(kuò)散硅壓力變送器, 在首鋼、長嶺煉油廠等數(shù)十家大中型企業(yè)推廣使用。
過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸?shù)綌U(kuò)散硅膜片上、同時參考端的壓力大氣壓作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產(chǎn)生一個壓力場, 使膜片的一部分壓縮, 另一部分拉伸, 在壓縮區(qū)和拉伸區(qū)分別由兩個應(yīng)變電阻片, 以感受壓力引起的阻值的變化, 從而將壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號圖。此種SBP800型壓力變送器可以測量316鋼承載的任何液、氣態(tài)介質(zhì)。
2.電容薄膜式壓力變送器
電容薄膜式絕對壓力變送器自80年代誕生至今有20年歷史, 由于它的精度高, 耐腐蝕, 耐污染, 穩(wěn)定性好, 是國內(nèi)外公認(rèn)的檢測低真空壓力的理想儀表。美國M.K.S的公司是全球生產(chǎn)電容薄膜式壓力變送器的主要生產(chǎn)廠家, 至目前為止, 它的年銷售額已達(dá)上億美元, 涉及民用工業(yè)的各個領(lǐng)域, 并在航天工業(yè)、核工業(yè)等軍事工業(yè)中發(fā)揮著獨(dú)特的作用。
這種壓力變送器是利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生壓變引起電容變換的原理制成, 它是由檢測部分和轉(zhuǎn)換電路組成檢測部分有真空腔及檢測腔兩個腔體。真空腔為全密封結(jié)構(gòu), 經(jīng)質(zhì)譜檢漏儀檢漏合格后, 通過長時間排氣, 最后將排氣管密封形成的, 并備有消氣劑, 消除殘余氣體, 長期保持高真空。固定極板位于真空腔中, 由極板引出線至腔外。檢測膜片置于高真空的真空腔及連接低真空待測系統(tǒng)的檢測腔之間, 檢測膜片為可動極板, 其與固定極板形成一個平板電容器, 有一定的電容值。被測的低真空壓力通過檢測孔進(jìn)入檢測腔, 檢測膜片產(chǎn)生撓曲, 改變了其與固定極板的距離, 電容值也隨之改變。不同的低真空壓力值決定不同的電容值。最后電容信號被輸送到電路轉(zhuǎn)換部分, 電路轉(zhuǎn)換部分將電容信號通過變換、整理、放大等環(huán)節(jié),輸出一個標(biāo)準(zhǔn)電壓或電流信號。這個標(biāo)準(zhǔn)電信號是從電容信號而來, 它與真空壓力成正比。真空預(yù)冷試驗(yàn)機(jī)采用CPCD100Z型電容薄膜式壓力送器作為真空室壓力的測量。通過微處理機(jī)把信號輸出在面板上。實(shí)驗(yàn)證明, 該類型變送器響應(yīng)快, 穩(wěn)定可靠并可以連續(xù)使用, 充分滿足了試驗(yàn)中壓力測量的要求。
3.陶瓷厚膜壓力變送器
陶瓷厚膜式壓力變送器是利用了陶瓷厚膜電阻的力敏效應(yīng)。利用陶瓷厚膜壓力芯片作為彈性元件, 印刷和燒結(jié)在陶瓷膜片上的厚膜電阻為敏感電阻, 并經(jīng)過精密的補(bǔ)償技術(shù)、調(diào)阻技術(shù)、信號處理技術(shù)的處理, 將壓力信號直接轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)的電流信號, 并接人工業(yè)儀表或計算機(jī)控制系統(tǒng), 實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的自動檢測和控制。
瓷厚膜壓力變送器主要是由陶瓷厚膜壓力傳感器和微處理器兩部分組成, 傳感器用來測量壓力變化。當(dāng)壓力作用于傳感器時, 引起傳感器的電阻值變化, 傳感器芯片上的電橋電路檢測出并由A/D轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號送至微處理器。微處理器是信號處理的核心部件,具有線性運(yùn)算、校正、故障診斷和通信功能。傳感器數(shù)據(jù)存儲器能夠存儲修正系數(shù), 微處理器利用存儲器中的數(shù)據(jù)信息, 經(jīng)計算處理, 產(chǎn)生一個高精度的特性優(yōu)異的輸出。這種變送器在生產(chǎn)工藝過程中可將各種介質(zhì)包括腐蝕性和非腐蝕性的氣體、液體直接引人到陶瓷膜片上, 無需進(jìn)行復(fù)雜的隔離技術(shù), 因此價格低廉。壓力變送器的彈性體為物化性能極為穩(wěn)定的高鋁瓷兒制作, 長期工作無蠕變和塑性變形, 線性度、滯后性能明顯優(yōu)于其他類型壓力變送器。
4.陶瓷電容壓力變送器
陶瓷電容壓力變送器采用無中介液的干式陶瓷電容傳感器, 從而獲得很高的技術(shù)性能。市場上以德國E+H公司和美國Kavlico公司產(chǎn)品為主。年代中期,哈爾濱工業(yè)大學(xué)利用美國Kavlico公司的陶瓷電容式傳感器生產(chǎn)出PTM120壓力變送器, 其性能穩(wěn)定, 測試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確, 大量投人到石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業(yè)的壓力測量及現(xiàn)場控制。
陶瓷電容壓力變送器的工作原理與其他電容式的變送器不同, 介質(zhì)壓力直接作用于陶瓷膜片, 使測量膜片產(chǎn)生偏移。膜片位移產(chǎn)生的電容變化量與輸人壓力成一定的線性關(guān)系, 經(jīng)電子部件檢測、放大并輸出。
三、智能型壓力變送器
20世紀(jì)90年代, 現(xiàn)場總線技術(shù)迅速崛起, 工業(yè)過程控制系統(tǒng)逐漸向具有雙向通信和智能儀表控制的現(xiàn)場總線控制系統(tǒng)方向發(fā)展。從而產(chǎn)生了新一代的智能壓力變送器。它們的主要特點(diǎn)如下。
（1）自補(bǔ)償功能如非線性、溫度誤差、響應(yīng)時間、噪聲和交叉感應(yīng)等。
（2）自診斷功能如在接通電源時進(jìn)行自檢, 在工作中實(shí)現(xiàn)運(yùn)行檢查。
（3）微處理器和基本傳感器之間具有雙向通信的功能構(gòu)成閉環(huán)工作系統(tǒng)。
（4）信息存儲和記憶功能。
（5）數(shù)字量輸出。
基于上述功能, 智能壓力變送器的精度、穩(wěn)定性、重復(fù)性和可靠性都得到提高和改善。其雙向通信能力實(shí)現(xiàn)了計算機(jī)軟件控制及遠(yuǎn)程設(shè)定量程等狀態(tài)。
智能型壓力變送器主要分為帶協(xié)HART協(xié)議的和帶482或RS232接口的兩種類型。帶HART協(xié)議的智能壓力變送器是在模擬信號上迭加一個專用頻率信號, 實(shí)現(xiàn)模擬和數(shù)字同時進(jìn)行通信。帶RS232或485口的智能壓力變送器內(nèi)部將模擬信號A/D轉(zhuǎn)換通過微處理器計算由D/A輸出。RS232接口是異步通信協(xié)議接口, 可與許多通信協(xié)議兼容。因此, 后者應(yīng)用非常廣泛。
 四、壓力變送器代表性產(chǎn)品
（1）EJA變送器
 產(chǎn)品規(guī)格
應(yīng)用 類型 型號 膜盒 量程（KPa） 最大工作壓力（MPa）
差壓和液位 常規(guī)安裝 EJA110A L 0.5-10 3.5
   L（接液材質(zhì)代碼為“S”） 0.5-10 16
   M 1-100 16
   H 5-500 16
   V 0.14-14MPa 16
 
特點(diǎn)：
靜壓影響忽略不計
    當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時，兩形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的諧振梁形變相同， 故頻率變化也一致，故偏差自動清除（公式和圖類似溫度影響）。
單向過壓特性優(yōu)異
    接液膜片與膜盒本體采用獨(dú)創(chuàng)的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時， 接液膜片能與本體完全接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增 加，從而達(dá)到對傳感器的保護(hù)作用。
安裝靈活
可無需支架，直接安裝；
常規(guī)使用，無需三閥組。
綜合評價：
采用微電子加工技術(shù)（MEMS）在一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作 兩個形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的H形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩 回路中作高頻振蕩（如圖1）。 單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時，將產(chǎn)生形變，導(dǎo)致中心諧振梁 因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖2）。
    兩頻率之差信號直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，然后 （1）經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號，通訊時疊加Brain或Hart數(shù)字信號； （2）直接輸出符合現(xiàn)場總線（Fieldbus Foundation TM）標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號。
（2）羅斯蒙特壓力變送器
一、產(chǎn)品概述：
羅斯蒙特的3051C型壓力變送器為壓力測量技術(shù)創(chuàng)建了一個新的標(biāo)準(zhǔn)。它具有無可比擬的操作性能、靈活的CoPlanarTM平臺，而且可以升級。新型3051C壓力變送器的性能指標(biāo)保證了在不同工況下的精度和穩(wěn)定性。
    工作原理：工作時，高、低壓側(cè)的隔離膜片和灌充液將過程壓力傳遞給灌充液，接著灌充液將壓力傳遞到傳感器中心的傳感膜片上。傳感膜片是一個張緊的彈性元件，其位移隨所受壓而變化（對于GP表壓變送器，大氣壓如同施加在傳感膜片的低壓側(cè)一樣）。AP絕壓變送器，低壓側(cè)始終保持一個參考壓力。傳感膜片的最大位移量為0.004英寸（0.1毫米），且位移量與壓力成正比。兩側(cè)的電容極板檢測傳感膜片的位置。傳感膜片和電容極板之間電容的差值被轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電流，電壓或數(shù)字HART（高速可尋址遠(yuǎn)程發(fā)送器數(shù)據(jù)公路）輸出信號。
3051變送器的應(yīng)用
新型3051C的性能指標(biāo)保證在不同工況下的精度和穩(wěn)定性。靈活可變的CoPlanarTM平臺設(shè)計不但為您目前的應(yīng)用需求提供最佳方案，同時通過PlantWeb工廠管控網(wǎng)和現(xiàn)場總線技術(shù)也完全能滿足您將來的技術(shù)要求。
    二、技術(shù)參數(shù)：
總體性能：±0.15%
精度：±0.075%
差壓：校驗(yàn)量程從0.5inH2O至2000psi
表壓：校驗(yàn)量程從2.5inH2O至2000psi
絕對壓力：校驗(yàn)量程從0.167psia至4000psia
過程隔離膜片：不銹鋼，哈氏合金CR，蒙乃爾R，鉭（僅限CD，CG）及鍍金蒙乃爾
設(shè)計小巧、堅(jiān)固而質(zhì)輕，易于安裝。
    五、壓力變送器的趨勢
 當(dāng)今世界各國壓力變送器的研究領(lǐng)域十分廣泛,幾乎滲透到了各個行業(yè),但歸納起來主要有以下幾個趨勢:
 （1） 智能化由于集成化的出現(xiàn),在集成電路中可添加一些微處理器,使得變送器具有自動補(bǔ)償、通訊、自診斷、邏輯判斷等功能。
 （2） 集成化壓力變送器已經(jīng)越來越多的與其它測量用變送器集成以形成測量和控制系統(tǒng)。集成系統(tǒng)在過程控制和工廠自動化中可提高操作速度和效率。
 （3） 小型化產(chǎn)品目前市場對小型壓力變送器的需求越來越大,這種小型變送器可以工作在極端惡劣的環(huán)境下,并且只需要很少的保養(yǎng)和維護(hù),對周圍的環(huán)境影響也很小,可以放置在人體的各個重要器官中收集資料,不影響人的正常生活。如美國Entran 公司生產(chǎn)的量程為2～500PSI 的變送器,直徑僅為1. 27mm ,可以放置在人體的血管中而不會對血液的流通產(chǎn)生大的影響。
 （4） 標(biāo)準(zhǔn)化變送器的設(shè)計與制造已經(jīng)形成了一定的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。如ISO 國際質(zhì)量體系;美國的ANSI、ASTM標(biāo)準(zhǔn)、俄羅斯的ГOCT、日本的J IS 標(biāo)準(zhǔn)。
  （5） 廣泛化壓力變送器的另一個發(fā)展趨勢是正從機(jī)械行業(yè)向其它領(lǐng)域擴(kuò)展,例如:汽車元件、醫(yī)療儀器和能源環(huán)境控制系統(tǒng)。